二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9197759 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一款全自動的高速等離子體蝕刻器,旨在為各種材料提供卓越的蝕刻質量。該設備支持單面和雙面蝕刻，可用於實現高達4微米的等離子體蝕刻深度，具有非凡的均勻性。該機利用兩個具有可選功率級別的頻率敏捷射頻源來確保卓越的過程控制。LAM RESEARCH TCP9600采用創新的氣體輸送系統，保證不同壓力水平下的恒定氣體流動，以優化性能。該裝置還配備了先進的監控機器，提供有關氣流、壓力、腔室溫度和射頻功率的實時數據。TCP-9600是LAM RESEARCH Endura™套先進半導體制造工藝設備的重要組成部分。這套精密的生產設備包括光束線系統（蝕刻/沈積、離子註入和激光退火），以創造出優質的微電子。通過集成的性能監控和過程控制,LAM RESEARCH TCP-9600可確保可重現的超凈化蝕刻過程。TCP9600是為提供卓越的質量和精度在高速設計。標準配方庫包含多種工藝參數，包括蝕刻速率、腔室壓力、射頻功率水平、氣流和溫度設置。直觀的GUI使編程變得簡單，還提供實時的過程監控。腔室設計為提供均勻、低壓的環境進行最佳蝕刻，人體工程學的設計意味著維護方便直觀。TCP 9600是需要蝕刻優質微電子器件的廠商的絕佳選擇。該工具強大的功能、可靠性和精確度相結合,可確保高效和優化的性能。LAM RESEARCH TCP 9600是創造卓越品質產品的理想選擇,具有卓越的蝕刻效果。