二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9225269 待售
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單擊可縮放
ID: 9225269
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Metal etcher, 8"
Includes:
Main body
Chiller
AC Rack
Rack
(2) Covers
(4) Dry pumps
(2) Cables
1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600是一款精密Asher，專為半導體工業的高級器件大批量制造而設計。設備是一個模塊化、緊密集成的平臺，具有多種工藝能力。不同模塊的緊密集成創建了一個強大的過程,可最大程度地減少維護和操作復雜性。LAM Research TCP9600利用光學對準技術確保鋁、凹入氧化物和敏感特征幾何形狀的精確蝕刻。該系統具有濕式和幹式蝕刻功能，可對直徑達200毫米的各種晶片進行經濟高效的處理。利用兩個波源和電子源，TCP-9600可以精確地將所需的蝕刻過程邊際速率保持在每小時+/-0.1微米以內。TCP9600可以同時處理多達60個基板，允許靈活和定制的處理。它利用Intellifex這一先進的單元體系結構,通過自動優化蝕刻速率和端點精度來提高生產率。該機器還配備了Total Process Control,這是一種閉環工具,可監控整個過程的過程穩定性。這提供了提高產量、提高吞吐量和一致的高質量結果的優勢。LAM RESEARCH TCP-9600除了具有較高的蝕刻速率和精確度外,還提供多種先進技術。具有進行多層蝕刻的能力，並部署了先進的薄膜厚度控制和真空清洗資產等碎片緩減技術。該模型還包括氣體安全設備和焊接監測系統等一系列安全特征，可進一步防止危險情況發生。整個TCP 9600為半導體制造業提供了高效、高精度和精確的蝕刻解決方案。該單元的先進能力和安全系統使其成為復雜基材大批量加工的理想之選。
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