二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9226996 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是一種先進的蝕刻/灰化設備,設計用於各種材料的精密蝕刻和灰化。LAM RESEARCH TCP9600具有強大的設計,其優化的平臺具有低功耗運行和重新循環的氣體通道,可最大限度地提高吞吐量並最大限度地降低維護成本。TCP-9600提供優化的高壓工藝環境,腔室尺寸為13.2 x 13.2英寸,每個循環最多可處理6個晶圓。它還有一個三模工藝室，用於優化高溫、低溫或環境溫度過程。該系統使用易於使用的用戶界面和溫度過高的安全開關,確保用戶友好的操作。自動化過程單元帶有幾個專用組件，如高性能渦輪泵、樣品轉換機和流量控制器/混合器。高性能渦輪泵在預熱、過程和排氣階段提供高室疏散速度。樣品轉移工具使晶片能夠自動定位在蝕刻/灰室內。流量控制器/混合器按程序間隔精確控制氣體和工藝氣體比率的組合。TCP 9600還有一個外部氣體箱，裏面裝有閥門、流量計和氣體調節器，便於添加具有適合每種應用的特定參數的工藝氣體。渦輪分子泵送設備保證了高真空過程的不間斷運行。LAM RESEARCH TCP-9600還提供高級軟件套件,包括高端數據采集、數據分析和過程控制。這個精密的軟件允許用戶快速、精確地監視和調整諸如溫度、壓力和流量等參數，以獲得最佳的蝕刻/灰分結果。TCP9600是一種先進的蝕刻和灰化模型，設計用於半導體、玻璃和其他材料的精密蝕刻和灰化。從其強大的設計、優化的平臺、簡單的操作和先進的軟件套件來看，該設備是獲得精確蝕刻/灰化結果的終極解決方案。