二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9243880 待售
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LAM RESEARCH TCP 9600是一種先進的蝕刻/灰化設備,允許對半導體材料進行蝕刻和灰化,以便將它們發展成質量最高的元件。該系統使用先進的專有技術執行高分辨率蝕刻和灰化,使其成為設備開發和工藝改進的理想選擇。這臺機組吞吐量高,非常適合大批量生產運行。此外,該機具備廣泛的等離子體蝕刻選項,如等離子體蝕刻表面處理、氧等離子體蝕刻、感應耦合等離子體蝕刻,讓客戶為其應用選擇最佳的蝕刻技術。LAM RESEARCH TCP9600提供對蝕刻工藝的高度控制和靈活性。該模型具有快速切換功能,用戶可以快速方便地從一種模式切換到另一種模式。此外,用戶可以使用可編程邏輯控制器(PLC)輕松維護應用程序所需的過程參數。TCP-9600有一臺先進的冷卻水機,處理效率高,在蝕刻和灰化過程中有助於保持溫度。此外,該工具還具有集成端點監視(EPM)功能,以確保部件已完全蝕刻。用戶界面也非常直觀和用戶友好,允許簡單而高效的操作。此外,資產中還包含包含軟件開發的提示、命令和說明的廣泛圖形用戶界面(GUI)。這允許用戶監視進程並查看實時狀態信息,以確保蝕刻和灰化過程的準確性。TCP9600設計的性能和質量都很好。它具有特別快的等離子體電位,具有出色的蝕刻均勻性和均勻性。此外,該工藝缺陷率低,步長覆蓋率極高,適合大體積半導體器件制造或納米尺度制造等應用。此型號提供多種選項,可根據功率、速度和脈沖寬度進行定制。例如,TCP 9600可以配備可選的無線LAN,用於遠程訪問和數據日誌記錄。此外,該設備還采用了功能強大、可靠的可編程邏輯控制器(PLC),可輕松生成各種操作參數,優化過程控制和多功能性。
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