二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9262480 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是為金屬、III-V化合物和電介質的高級蝕刻而設計的等離子體蝕刻器/asher設備。LAM RESEARCH TCP9600提供了針對各種薄膜應用而定制的高級精密工藝,同時提供了卓越的可重復性、均勻性和高質量的結果。TCP-9600包括一個900 MHz的高功率電源、一個2英寸的源腔室、一個24英寸x 21英寸的RF偏置壓板以及一個帶有預加載配方的計算機接口。TCP9600可以蝕刻極薄的層，到幾納米厚，具有高度的均勻性和可重復性。它為先進的薄膜蝕刻要求提供了理想的解決方案。TCP 9600完全可以根據用戶的需要定制,這使得它非常適合任何類型的蝕刻過程。它還支持多種化學類型以及多種腔室大小和工藝能力。LAM RESEARCH TCP-9600提供卓越的精度和過程重復性。它不斷監測和調整工藝條件，顯著提高蝕刻的重復性和產量。900 MHz電源比其他系統產生更高的功率密度，而其全面的計算機控制功能使離子能量、離子通量和功率水平等過程參數得以微調。該蝕刻器/asher還通過其多腔室系統提高了吞吐量。LAM RESEARCH TCP 9600采用集成的RF偏置板,能夠在單個工藝周期內蝕刻更大的區域,並有助於減少對多種操作的需求。在安全方面，LAM RESEARCH TCP9600通過溫度監測、安全聯鎖和其他安全功能確保工人的安全。等離子體蝕刻器/asher還配備了一個板載診斷單元，可以記錄工藝參數，幫助操作員確保卓越的質量和可重復性。TCP-9600是一種多功能、高性能的蝕刻器/asher機器,可提供一流的精度和過程可重復性。它是任何需要高級流程功能和高質量結果的應用程序的首選解決方案。