二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #9389938 待售
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LAM RESEARCH TCP 9600是一款針對IC封裝/先進設備制造需求量身定制的濕蝕刻/灰化設備。這種最先進的蝕刻器的設計考慮了吞吐量、產量和均勻性。它不受溫度變化的影響,可以容納不同流體性質的化學系統。它的等靜壓工藝室確保均勻蝕刻,無論樣品大小。此外,其獨立的腔室設計確保每個晶片以自己的速率蝕刻,確保整個腔室的均勻性。LAM RESEARCH TCP9600蝕刻器由於具有快速的熱氧化物、氧化物蝕刻和氧化物帶狀工藝,因此具有很高的通量和靈活的工藝集成。其高效的傳熱技術,結合其廣泛的控制特性(渦輪泵工藝室、預設變量、可調樣本量),使操作員能夠調整蝕刻工藝,以滿足特定的應用要求。其計算機控制的過程管理單元減少了在設置和操作過程中花費的時間。此外,TCP-9600能夠在高密度SMC上提供出色的等離子體均勻性和「大規模多任務」化學。其嚴密的溫度控制提供了改進的幹蝕效果,為用戶提供了更高的產量。該蝕刻器還具有真空和壓力控制功能,可實現更精確可靠的潔凈室工藝.TCP 9600是一款對操作員友好的機器,具有直觀的操作員界面和圖形化的液晶顯示屏,簡化了蝕刻過程。其模塊化設計使安裝、集成和重新配置變得方便且經濟實惠。此外,該設備還通過了ISO 5、6和7潔凈室兼容性認證,幾乎可以與帶入潔凈室空間的任何SMT設備一起使用。總而言之,TCP9600是一款功能強大且可靠的蝕刻器,可以應對最苛刻的IC包裝挑戰。其強大的設計和先進的功能肯定能提供無與倫比的結果,使其成為IC封裝制造商和先進設備制造商的理想選擇。
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