二手 LAM RESEARCH TCP 9600SE II #293764330 待售

LAM RESEARCH TCP 9600SE II Asher是一款高速、全自動的等離子體蝕刻設備，旨在滿足半導體行業最苛刻的蝕刻要求。它是一種雙晶片蝕刻器，可以同時處理多達四個基板，提供前所未有的性能和吞吐量。這臺機器是當今最可靠的蝕刻機之一，能夠定期提供99.999%的產量。該系統由優質鋁和不銹鋼部件構成，能夠在高溫和高壓下運行。腔室內部保持在最高400℃的溫度，以確保均勻的工藝一致性。在受控大氣中運行可消除外部空氣的汙染,並確保最高級別的過程控制。通過密封、堅固的電源為蝕刻器供電,使設備能夠處理功率要求低的晶片。機器可以配置為使用射頻源或微波源來啟動等離子體。射頻源能夠在高頻和低頻模式下工作。此外,還可以將刀具配置為用於快速批處理或連續進紙操作。LAM 9600SE II具有一系列安全功能,為人員和設備提供額外的保護。其中包括一個液氮儲層，具有水平監測、振動過濾系統、壓力感測系統和過程計算機監測。自動化的等離子體蝕刻資產與包括預蝕刻清洗、冷卻和數據記錄在內的各種支持功能集成在一起，以確保優化的過程控制。該型號還配備了包括高級掃描算法、精確蝕刻窗口、可重復性參數在內的最新精密蝕刻功能。這確保了蝕刻零件的最高質量級別,並允許有效生產所需的工藝優化。LAM 9600SE II設備用途廣泛,可用於生產多種產品。從微匹配元件到高性能元件，可以有效蝕刻小結構，不犧牲質量。高級蝕刻控制參數、監控系統和系統集成功能的結合，使其成為當今市場上最可靠的蝕刻系統之一。