二手 LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9157867 待售

LAM RESEARCH TCP 9608 SE是一種為半導體制造而設計的自動化蝕刻器/asher。它能夠以高達300WPH的速度處理多達300至600 8英寸晶片。此蝕刻器/asher具有20個插槽的盒式磁帶,提供低至0.1mbar的腔室壓力控制,並提供高性能蝕刻工藝。它是首批具有低壓加工特點的生產蝕刻之一，與有機氣相蝕刻兼容。TCP 9608 SE具有模塊化結構,並帶有一系列自動化組件,包括真空系統、氣體和材料輸送系統、控制系統以及人機接口（HMI）。它有兩個房間的設計，不需要手動機器人維護，並確保潔凈室的兼容性。LAM RESEARCH TCP 9608 SE通過其HMI和對腔室壓力和工藝氣體的精細控制提供了方便的工藝控制。它還具有強大的內置安全系統，包括防止危險化學品釋放的過程氣體管理系統。TCP 9608 SE具有自上而下的等離子體源，非常適合創建具有高均勻性和可重復性的高度重復性特征模式。它還有一個分室設計，盡量減少有害的化學過程的可能性。可以優化蝕刻器的腔室壓力，以確保最高通量和最低化學用量。LAM RESEARCH TCP 9608 SE在不銹鋼、SiC、TiN/TiC、鋁、鈦等蝕刻應用中提供卓越性能。它靈活的體系結構和一系列的處理選項使它能夠用於單面和雙面蝕刻。此蝕刻器/asher還設計用於高通量和低成本晶圓制造。其綜合流程確保了高產量的一貫優質產品。這些功能使TCP 9608 SE成為尋求高效蝕刻器並能夠提供優質結果的半導體制造商的理想選擇。其高性能和成本效益使其成為執行各種晶圓處理任務的絕佳選擇。