二手 LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9226416 待售
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ID: 9226416
優質的: 1998
Metal etchers
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Sub fab equipment: Remote AC box
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic drive with wafer handlers
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Spin rinse dry with vacuum chuck
Main chamber:
Turbo pump 1000 ltrs with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF Match
(2) RF Generators
CL2 MFC: 100 SCCM
BCL3 MFC: 50 SCCM
O2 MFC: 300 SCCM
N2 MFC: 20 SCCM
N2 MFC: 1000 SCCM
Ar MFC: 100 SCCM
He UPC: 50 SCCM
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Manual WVDS Controller
O2 MFC: 2000 SCCM
N2 MFC: 300 SCCM
H2O MFC: 500 SCCM
With controller
(2) Load locks
(3) RF Generators: 1250 W
Manual WVDS Controller
1998 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9608 SE是專門為拋光鋁、黃銅和其他金屬而設計的蝕刻器/asher。蝕刻器/asher利用受控等離子體源在精確的水平和溫度下蝕刻金屬表面。該系統是一個高度通用的機器，能夠同時蝕刻和粉刷，在兩個獨立的房間。第一室設計用於在高達701 °C的溫度下進行選擇性蝕刻過程，以及多種氣體如氯氣、氧氣、氙氣和氮氣。它非常適合薄膜沈積、掩蔽、溝槽和護墊定義等結構化過程。第二個腔室設計用於執行灰化過程,溫度可高達750 °C。這樣可以更快、更高效地對有機材料如聚合物、光致抗蝕劑、perfluro聚合物和丙烯酸進行灰化處理。TCP 9608 SE具有多項功能,可進一步提高蝕刻和灰化工藝的效率。它配備了排放監控器和壓力傳感器，確保過程穩定和可重復運行。此外，蝕刻室還具有可調節的流速和氣體混合混合系統，可精確控制蝕刻和灰化過程。該室還具有多種配方的集成配置文件，便於保存和重復常用過程。LAM RESEARCH TCP 9608 SE專為實驗室和工業應用而設計。它設計用於安全操作，並提供內置的安全罩，以提高安全性。它還符合CE和UL標準,確保機器的使用壽命和質量。該系統還具有確保工藝精度的特點：具有三軸運動能力，最大限度地減少了平面的漂移，並實現了精確的工藝測量。總體而言,TCP 9608 SE是一種蝕刻器/asher,旨在滿足研究人員、工業工程師和開發專業人員的需求。它提供精確的蝕刻和灰化功能,以及幾個安全功能,以保護用戶。此外，它還配備了運動能力和先進的精密蝕刻和灰化工藝控制系統。LAM RESEARCH TCP 9608 SE是您最好的選擇。
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