二手 LAM RESEARCH TCP 9608 #79000 待售
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已售出
ID: 79000
Metal Etcher
Lam Rainbow Classic Software Ver. E1.5-021
Stand Alone Installation
Bolt-On SMIF
Equipe Autoloader Configuration
9600SE Process Chamber
Monopolar ESC
Fixed Gap
12” TCP Coil
Seiko Seiki 1000ml TMP
Heated Pump Stack and Manifold
Photodiode Endpoint Detection (703nm & 261.8nm)
Chamber Liner
Hinged DSQ Chamber
WVDS
Remote AC Box
Remote Operator Interface
Atmospheric Passivation Module
Edwards 40/80 TCU
(3) Onboard Advanced Energy RFG 1250 RF Generators.
LAM RESEARCH TCP 9608是一款蝕刻器/asher，常用於高科技蝕刻和灰化行業，用於創建電路板和其他集成電路。TCP 9608是一款生產級蝕刻器/asher,吞吐量高,質量優良。此蝕刻器/asher由五個獨立通道和32個工藝級別提供支持,以實現完整的工藝靈活性。LAM RESEARCH TCP 9608的綜合安全功能確保了可靠和安全的操作。TCP 9608使用標準或性能流程來實現高吞吐量,同時保持卓越的質量。它擁有先進的光刻設備以及精密集成摻雜系統。這使得它可以輕松準確地創建復雜的集成電路而不會損壞材料。此外,LAM RESEARCH TCP 9608效率很高,只消耗最小的電力以降低成本。TCP 9608能夠使用多種材料蝕刻/灰燼。這些材料包括氧化矽、氧化鋁、氮化鋁等。這種種類繁多的材料是必要的，以便在集成電路中創建復雜的設計。由於每個風扇光束都可以獨立微調，因此在蝕刻/灰化時，槍管室也是有益的。這樣可以在整個生產過程中實現卓越的精度和可重復性。LAM RESEARCH TCP 9608的集成安全功能旨在確保免受有害材料的侵襲,同時仍允許高吞吐量。沖洗前和沖洗後系統在每個過程前後對腔室進行清潔,確保腔室內不會殘留任何有害材料。此外,TCP 9608還連接到能夠實時訪問計算機的集中式監視和控制單元。這樣就可以遠程監視進程,從而確保不會出現意外問題。最後,LAM RESEARCH TCP 9608是一種質量最高的蝕刻器/粉碎器.它具有較高的吞吐量和卓越的質量,同時也是最經濟高效的系統之一。它可以蝕刻/灰分的多種材料和集成的安全功能確保它是現有的最佳蝕刻器/灰分器之一。
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