二手 LAM RESEARCH TM4.1 #9198145 待售

LAM RESEARCH TM 4.1是一款最先進的蝕刻器/灰化器,旨在為各種應用程序提供高質量和可重復的過程,涵蓋各種氣體、壓力和溫度。TM 4.1 蝕刻器/asher將堅固而高精度的設計與動態原位過程控制相結合,從而在各種過程中最大限度地提高產量和吞吐量。TM 4.1 蝕刻器/Asher采用堅固可靠的機械元件,可確保使用壽命長,維護最少。其強大的設計還有助於確保晶圓運行過程中可重復的均勻性。TM 4.1包括一個石英室,該石英室配有電氣進氣通路、不銹鋼法蘭、200毫米選擇器閥和一個工藝氣體組件,該組件可定制以容納多種工藝氣體。TM 4.1的專用控制器系統提供動態的原位過程控制和自適應響應,以確保所有過程配方都具有可重復的性能。此外,TM 4.1還包括一個用於樣品烘烤的輔助加工室,以及一個晶片對齊和加載端口,以便於裝卸晶片、掩模和其他物品。TM 4.1還提供了自動緊急關閉閥、惰性儲氣系統等先進的安全功能，以及與有源腔室清洗系統集成的能力。TM 4.1設計用於多種應用,包括但不限於蝕刻和灰化、抗蝕條、薄膜沈積、較厚的薄膜沈積和晶片脫毛。綜上所述,LAM RESEARCH TM 4.1 蝕刻器/asher是一個強大而高精度的系統,它為自定義過程提供先進的激光蝕刻工藝配方和動態原位過程控制。其堅固的機械和電氣設計、通用的工藝氣體以及先進的安全功能確保了一致的性能和可重復性。通過將TM 4.1 蝕刻器/asher的功能與高效的晶圓處理服務相結合,制造商可以充分利用其晶圓處理應用。