二手 LAM RESEARCH Torus 200 #9376881 待售

LAM RESEARCH Torus 200是一款專門為滿足各種應用程序的需求而設計的蝕刻器/asher。它設有直列式三維（3D）成像設備、下遊觀測港和集成輸送機系統。這種多功能蝕刻和灰化裝置非常適合高通量基材制備和單室薄膜沈積。Torus 200提供先進的加工多功能性,將蝕刻和灰化結合在同一個腔室中。它包括一個智能氣體控制機，最多支持四種工藝氣體，允許在一個循環中多個基板和薄膜過程。氣體控制工具通過自動調整每種底物的蝕刻和灰化條件來優化反應參數。為了精確的基板對準和便於工具的裝卸，提供了一個集成的基板輸送機資產。LAM RESEARCH Torus 200利用串聯3D成像模型在加工過程中檢測基板上的任何缺陷或雜質。自動檢查設備可以檢測到編程數據與實際基板狀態之間的任何不符合-允許實時反饋以實現最終的過程準確性和控制。下遊觀測港還協助監測和操縱蝕刻和灰化過程。該端口提供卓越的觀察功能,並允許用戶同時觀察基板的正面、側面和背面。一個獨特的自動放置系統（APS）可用於優化樣品在基領上的定位，同時考慮到表面的任何不規則性。Torus 200配備了先進的安全功能，確保人員和設備的總體安全。為了進一步提高蝕刻和灰化質量,提供了先進的嵌入式軟件解決方案,可以與其他PrCB系統完全集成。該單元的輕巧和堅固的設計使其適合試點和大規模生產中的多種應用。總而言之，LAM RESEARCH Torus 200是一款可靠的蝕刻器/asher，非常適合各種應用。Torus 200具有多種工藝功能、先進的成像機、集成的傳送工具和安全功能,通過提供高質量和可靠的解決方案滿足客戶的各種需求。此外，它重量輕，結構堅固，非常適合在各種條件下進行連續和自動化操作。