二手 LAM RESEARCH Torus 300B #9407116 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
LAM RESEARCH Torus 300B是一種先進的、高精度的蝕刻/asher設備，用於半導體工業的晶圓加工。該蝕刻器用於各種工藝，包括蝕刻和拋光。Torus 300B是一種全自動工具,能夠在廣泛的蝕刻和清潔過程中提供高度準確和可重復的結果。LAM RESEARCH Torus 300B由氣體控制系統提供動力，該系統與閉環反應室集成在一起，可最大程度地控制蝕刻參數。反應室可以快速、容易地改變，從而方便地在不同的蝕刻化學和底物之間切換。腔室容量可達1.8L，機組采用低溫蝕刻選項設計。圓環300B設計有一個高效的反應室，以盡量降低操作成本。已集成了先進的過程控制算法和改進的硬件,以提供具有卓越流程性能的高可重復性結果。可以通過機器的用戶友好圖形界面實時監控蝕刻過程，提供對蝕刻參數的完全控制。該工具的集成晶圓處理模塊允許快速準確的晶圓裝卸，簡化晶圓處理。該資產可通過多種附加功能進行定制,如原位洗滌和用於精確清潔的專用泵。還可以集成先進的真空封裝，以優化工藝精度，減少工藝時間。LAM RESEARCH Torus 300B設計方便用戶且可靠,可提高流程穩定性和可重復性。該型號的出色生產效率和性能使其與當今市場上的其他蝕刻器和分類器脫穎而出。它是任何希望高效可靠地加工高端晶片的半導體制造設施的理想選擇。
還沒有評論