二手 LAM RESEARCH Torus 300B #9407118 待售

LAM RESEARCH Torus 300B是一種單晶圓蝕刻器和asher，設計用於快速準確地處理高精度晶圓。這種設備具有很高的選擇性和可靠性，使其能夠準確地生產各種形狀和大小復雜的結構。圓環300B采用精確的閉環反饋控制，監測腔室壓力和氣流，以實現精確的均勻蝕刻。這允許精確的差分蝕刻結構,其陣列尺寸適合各種應用。這些應用包括先進的光刻、精細電路和MEMS制造、3D IC（3維集成電路）和高密度電子設備。這一系列的兩級水泵提供了一個強大、快速和高度精確的蝕刻過程，從而提高了吞吐量和產量。這些泵是剛性安裝和真空密封，以減少潛在的振動，而包括高精度定位伺服執行器消除手動操作和對準。此外，該系統還采用了專利的集成自對齊等離子體源，具有先進的工藝控制，以確保高性能運行。LAM RESEARCH Torus 300B還提供了廣泛的高級功能,例如靈活匹配模式（FMM）,該單元遵循最佳的工藝時間安排,在晶圓上提供一致的蝕刻,以及可選擇的循環時間縮短（CTR）功能,可將非生產性循環時間縮短至70%。此外，該機器還包括廣泛的安全和保護機制，包括獲得專利的超低顆粒蝕刻（ULPE）工藝，以確保操作員免受有害廢氣的侵害。總體而言，Torus 300B是一種可靠且先進的蝕刻工具，能夠以精確的選擇性和均勻性產生復雜的圖樣。兩級泵的系列提供了高性能和精確度，而集成的自對準等離子體源則保證了高性能的運行。此外，資產還提供安全和保護機制，以確保操作員的安全。