二手 LAM RESEARCH Torus 300B #9408569 待售

LAM RESEARCH Torus 300B是一種專門設計用於集成電路制造的蝕刻器/asher。它是一種高度專業化的蝕刻和灰化器，可用於各種蝕刻和灰化操作。圓環300B具有雙氣體輸送設備，使用戶可以靈活使用反應性氣體混合物或同位素。其較大的活動區域允許高密度蝕刻和灰化,而不會影響邊緣分辨率。LAM RESEARCH Torus 300B室設計用於時間和能量鎖定交付,這有助於確保獲得最佳結果。其可調壓力範圍高達5毫巴，可調溫度範圍為-5 °C至+150 °C。這使得它能夠有效的蝕刻幾乎所有材料具有各種蝕刻參數。它也可以用來沈積金屬和電介質，使其成為廣泛制造作業的理想之選。圓環300B利用熱蒸發器，使用戶能夠以高精度精確沈積材料，包括金屬和電介質。它還具有內置蝕刻監視器,使用戶能夠跟蹤蝕刻過程的進度。使用隨附的軟件，用戶可以對各種蝕刻參數進行編程，包括基材、循環步數、光掩模圖案和工藝控制參數。LAM RESEARCH Torus 300B封裝在真空室中，保持工藝環境穩定，使用戶可實現重復可靠的效果。此外,它的設計便於安裝和最小的維護。Torus 300B利用自動化的自我診斷系統,用戶可以快速診斷和解決任何單元問題。LAM RESEARCH Torus 300B是出於安全考慮而打造的。它有一個緊急聯鎖機器，在緊急情況下迅速關閉工具和疏散氣體。此外，它還包括一個內置的壓力和溫度監測資產。所有這些功能都確保操作員在安全和合規的環境中工作。總體而言,Torus 300B是制造高質量集成電路的理想蝕刻器和粉碎器。其雙氣體輸送模式和可調節的壓力和溫度範圍，可以輕松處理各種蝕刻和灰化應用。它可調的循環參數和內置的安全特性，使其可靠、安全地供操作員使用。