二手 LAM RESEARCH Torus 300S/RF #9395313 待售

LAM RESEARCH Torus 300S/RF是一種為提供高通量性能和對工藝參數的精確控制而設計的蝕刻/asher設備。它采用低成本、靈活的設計,使用戶能夠輕松調整工藝流速和層輪廓,以達到所需的表面質量。Torus 300S/ RF通過其365mm x 365mm x 25mm寬的加工室提供高等離子體蝕刻均勻性，允許更高的長寬比和更厚的蝕刻膜。其先進的冷卻系統可實現更高效的操作,從而實現更好的蝕刻深度和無缺陷的表面。設備由先進的射頻發生器供電，提供獨立的離子和自由基，可以精確優化每個蝕刻步驟。該裝置支持所有介電、有機和金屬材料的等離子體蝕刻，並具有額外的蝕刻幾層材料的能力。Torus 300S/RF還配備了一個集成的、完全兼容的微量濕度系統，有助於確保極好的可重復性和可靠的、可重現的等離子體蝕刻結果。Torus 300S/RF可用於產生多種蝕刻形狀，包括VPS溝槽、凹環、鍍金通氣以及空腔或切口。該設備配備了自動加載/卸載系統和觸摸屏界面，用於用戶友好的參數調整。它還能夠維持高達585°C的高溫，用於優質晶圓加工。此外,該設備的加電速度更快,只需40分鐘即可完成蝕刻。LAM RESEARCH Torus 300S/RF是時間敏感工藝的理想蝕刻解決方案。其模塊化設計和一致的均勻蝕刻可實現可重復、可靠的工藝結果,並以低成本為用戶提供高端蝕刻解決方案。盡管體積很小,但它能夠在最短的時間內處理最厚的薄膜。