二手 LAM RESEARCH Torus 300S #9235357 待售

LAM RESEARCH Torus 300S是來自LAM RESEARCH的最新一代PVD產品的高級蝕刻器。它是一種用於敏感半導體材料的蝕刻、剝離和圖樣設計的垂直、臺式儀器。憑借極快的蝕刻速度,Torus 300S提供了卓越的均勻性和工作效率。LAM RESEARCH Torus 300S是一種功能強大、靈活的蝕刻器,具有較高的平行性和較低的顆粒汙染。該蝕刻器是超導體蝕刻、MEMS元件和矽片等多種應用的理想選擇。其高速蝕刻工藝既適用於批量加工，也適用於單片加工，也適用於MEMS。Torus 300S配備了先進的蝕刻設備，使用戶能夠處理幹凈和剝離的晶片。它設有兩個獨立的腔室，每個腔室都能在工件兩側蝕刻。該系統獨特的設計允許在整個蝕刻過程中完全統一。該設備設計用於批處理或單晶圓處理環境。LAM RESEARCH Torus 300S還配備了用於監測、控制和調整蝕刻工藝的高級功能。這包括一個集成的四通道流量計，用於最優氣體分布，以及壓力和溫度控制器。該機還包括互鎖工具、緊急停止開關、超壓保護報警等多種安全功能。除了蝕刻能力外，Torus 300S還擁有快速回收的低溫恒溫器、高分辨率成像資產以及用於塗層的高性能PVD模型。該成像設備能夠捕獲蝕刻表面的高分辨率圖像，以便於分析。PVD系統是任何蝕刻過程的重要組成部分,因為它有助於確保使用正確的材料和厚度。LAM RESEARCH Torus 300S是一款功能強大且可靠的蝕刻器/der,提供一致的性能和優異的效果。它結合了高級特性和功能,使其成為那些需要高性能蝕刻設備來處理敏感材料的用戶的理想選擇。