二手 LAM RESEARCH Torus 300S #9268953 待售

LAM RESEARCH Torus 300S是一種蝕刻/抽吸設備，設計用於在大批量制造應用中提供高精度蝕刻和不銹鋼灰泥。Torus 300S配備了一系列特性，包括高精度的浮動卡盤，以確保精確的基板放置；用於多頻蝕刻的集成級聯射頻發生器；免提沖洗過程；以及支持Web的自動化過程控制系統。LAM RESEARCH Torus 300S是小型和大型基板蝕刻的理想選擇，因為它具有平板性能和高精度的浮動卡盤。其射頻發生器可實現多種不同的蝕刻過程，包括多頻蝕刻，電壓範圍完全可調。浮動卡盤允許精確的基板定位，確保高精度的蝕刻和灰化。此外，Torus 300S還配備了免提ashing工藝，可實現高效的不銹鋼ashing，無需人工幹預。LAM RESEARCH Torus 300S還配備了一個支持Web的自動化過程控制單元,可實時監控蝕刻和灰化過程。這種過程控制機還設計用於通過高級邏輯配方提供過程優化。Torus 300S包括多種監控功能,例如用於作業跟蹤和優化的實時反饋工具,以及用於確保最高質量蝕刻過程的集成光學質量控制資產。此外，LAM RESEARCH Torus 300S的設計符合最苛刻的環境和安全標準。其內飾采用不銹鋼和陽極氧化鋁構成，確保長期耐用。該模型還配備了綜合氣體安全設備，設計用於檢測和監測所有加工氣體。Torus 300S設計用於在大批量制造應用中提供高精度的蝕刻和灰化工藝。它具有高精度的浮動卡盤、集成的射頻發生器、免提ashing工藝和Web支持的自動化過程控制系統等多種特點,使其成為需要高精度結果和最大程度過程控制的蝕刻器和灰燼器的理想選擇。