二手 LAM RESEARCH Torus 300S #9294018 待售

LAM RESEARCH Torus 300S是業界領先的蝕刻器/asher,它提供先進的功能。該系統是第一個將創新的蝕刻和灰化技術結合起來處理復雜設備結構的系統。Torus 300S提供的獨特工藝功能包括對矽、III/V和一系列其他材料進行專業級蝕刻和灰化。LAM RESEARCH Torus 300S具有大面積蝕刻/灰室,具有高精度步進電機驅動級,可實現8英寸以上的較大晶圓尺寸和先進的蝕刻/灰化序列。蝕刻和灰化工藝能力包括旋轉和垂直圖樣、介電蝕刻和條帶、圖樣傳遞、各向異性蝕刻、電阻蝕刻和間隙閉合。它還具有先進的腔室控制軟件和控制硬件以及先進的邊緣隔離技術。Torus 300S 蝕刻器/asher的設計滿足了最嚴格的要求,其高精度的工藝控制確保了在每個蝕刻步驟中實現均勻性和卓越的生產吞吐量的可重復性。它具有卓越的工藝保真度,使用戶能夠以單向模式在<5 nm處生成結構,且均勻性影響最小。此外,它的超高工作效率可實現200至400 nm的曝光範圍,並具有一致的關鍵特性性能。與前代產品相比,用戶友好型設備提供了一系列無縫集成的硬件組件和功能,使其成為各種蝕刻/灰化應用程序（包括高級CMOS、MEMS、電源IC、功率放大器、RFID、MEM、MCM和其他應用程序）的理想系統。它還可以支持高長寬比特性、納米通道、蝕刻幹蝕刻後處理等特殊蝕刻工藝。總體而言,LAM RESEARCH Torus 300S是一款具有最新技術和專有功能的高級蝕刻器/灰化器,使其成為可用於復雜設備結構處理的頂級蝕刻/灰化工具之一。它非常適合在流程中要求最高精度、吞吐量和可靠性的設備設計人員。