二手 LAM RESEARCH V2 TM #9397706 待售

LAM RESEARCH V2 TM是一種先進的蝕刻/灰分設備,設計用於對基板進行低熱影響的幹燥加工。它是一個雙磁控管，雙工藝源系統與先進的控制平臺，以支持各種工藝要求。V2 TM為關鍵部件和組件提供了出色的保護,同時提供了卓越的一致性和可重復性。LAM RESEARCH V2 TM利用離子和自由基促進底物的蝕刻或灰化。它包含兩個具有雙電源的高性能磁控管,這些磁控管經過調整以提供所需的工藝配置文件。雙磁控管安裝在1/Semiconductor級（SCG）不銹鋼腔室內,可有效散熱,確保溫度在工藝極限內。該單元還設有一個自動化的過程控制單元（PCU），以便於監測和控制蝕刻器/Asher。此外，一個先進的晶圓處理機集成在工具，以優化生產力和均勻性。可配置的真空資產可確保加工零件的過程和真空一致性。從配置流程條件到收集流程數據和優化流程性能,V2 TM蝕刻/灰分流程受到計算機的全面控制和監控。強大而先進的接口軟件使它能夠輕松地與現有或未來的自動化系統集成,從而確保無縫且高效的操作。LAM RESEARCH V2 TM還提供了卓越的工藝可重復性和均勻性,其生產級架空CAE模型可最大程度地減少基板加熱。架空CAE還可以方便地運輸基板和負載鎖定元件，確保晶圓的平穩和一致的傳輸。V2 TM 蝕刻器/asher是經濟高效、可靠的大容量幹式加工的理想選擇。LAM RESEARCH V2 TM具有先進的控制和強大的設備組件,可確保提高可靠性和高吞吐量能力。