二手 LAM RESEARCH Vector Express #9099741 待售
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ID: 9099741
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
CVD System, 12"
Front UI
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module Controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC No.0, 1, 2, 3 HDSIOC
ATM Robot & controller: Brooks reliance 8 / Friction type / controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
Main power box: 208VAC /3 Phase main 150A, full load 100A
ULPA Filter
Pod loader: 3 / Fix load 6M
LL/FE Interface PCB: 03-283968-00
ATM Door valve: (2) VAT
Chamber slit valve: (2) SMC
L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor
Vent / purge valve
L/L On-board pump: Kawasaki 27-283364-00 NV60N-2
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX 2500
HF Auto matcher: 27-279938-00 / Navigator 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source: Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pedestal: Standard type
Showerhead
Endpoint detector: IREPD - MKS
Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436
MFC: Brooks SLA7950S
MFC A: N2O(L) 1500
MFC B: N2 20000
MFC C: Ar 10000
MFC 1: SiH4 1500
MFC 2: N2 10000
MFC 5: He 20000
MFC 6: NH3 20000
MFC 7: N2O(H) 25000
MFC 8: O2 30000
MFC 9: NF3 10000
Arm position detector: Local manufactured option
Gauge monitoring kit: Local manufactured option
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Stn No.1 pin lift type: Servo motor
2007 vintage.
LAM RESEARCH Vector Express是一款下一代蝕刻器/asher，旨在滿足半導體制造業最先進的應用需求。設備配備了四個強大的蝕刻和灰化系統，每個系統都能夠獨立蝕刻和灰分各種材料。蝕刻和灰化系統采用高功率自動控制系統進行了獨特的設計，以提供可靠和準確的結果。該系統允許用戶同時操作多個蝕刻和灰化系統，共同產生最高質量的蝕刻和灰化結果。自動控制單元提供了一個簡單的用戶界面，帶有直觀的菜單，允許用戶放心地控制蝕刻和ashing過程。該機設計為操作廣泛的蝕刻和灰化配方，確保用戶能夠實現所需的工藝步驟。該工具還利用了高級控制功能，如可變蝕刻速度、可編程溫度和壓力設置以及可變氣流。資產還結合了診斷工具來監控蝕刻和灰化過程，從而實現更好的質量控制。Vector Express利用增強的安全功能來確保蝕刻和灰化過程的一致性和準確性。它采用一種獨特的腔室構造方法，將敏感部件與腔室的惡劣環境隔離開來，確保可以進行蝕刻和灰化過程，而不會對腔室造成任何損害。該模型還包括一個獨特的氣密密封，以防止任何在蝕刻和灰化過程中使用的危險化學物質進入工作區。該設備還包括一個功能強大的診斷工具，提供有關蝕刻和灰化過程的實時報告，允許用戶相應地監控和調整蝕刻和灰化參數。此診斷工具允許快速診斷故障,並為用戶提供有關系統性能的反饋。這種實時反饋確保用戶可以優化設備以獲得最高質量的蝕刻和灰化結果。LAM RESEARCH Vector Express還提供增強的性能功能,以降低機器的擁有成本。它幾乎不需要手動維護,而且其自我校準功能確保了一致的質量和可靠性。它的模塊化設計允許合並額外的蝕刻和灰化系統,同時還提供了根據用戶需求向上或向下縮放工具的靈活性。Vector Express是一種高性能、高度可靠的工具,它提供蝕刻和灰化解決方案,以滿足半導體行業中最苛刻的應用。其先進的特性和靈活性確保它可以保持任何半導體制造商生產線的組成部分。
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