二手 LAM RESEARCH Vector Express #9137283 待售

LAM RESEARCH Vector Express是為晶圓級處理需求而設計的高性能蝕刻器（也通常稱為asher）。它被用於多種先進的技術蝕刻應用，如通矽通（TSV）、半導體封裝、MEMS和光學元件。Vector Express使用光誘導電化學蝕刻（LIEE）技術，一種溫和的蝕刻工藝，可以在多種基板上使用，不會損壞或去除底層薄膜。LAM RESEARCH Vector Express設備能夠在受控條件下進行高精度蝕刻,實現10 nm以下的極精確圖樣和高產設備制造所需的蝕刻因子。它允許對每種樣品或化學品設置不同的條件，如蝕刻脈沖參數、光源強度和氣體類型，從而允許對每種基材進行最佳蝕刻性能。主要工藝和烤箱使用真空室，以減少過程中的顆粒計數和汙染。Vector Express是溫度控制的，具有熱電偶連接的溫度控制。此功能可確保溫度穩定,這對於均勻蝕刻工藝和生產高質量設備至關重要。系統還使用了自動冷卻單元以提高時間效率，無需等待冷卻周期結束，並允許不間斷處理。該機器還提供自動化和用戶界面解決方案,如電阻率控制、配方控制和全過程監控,以確保精度和可重復性。此外,該工具還提供集成的過程診斷,包括光發射光譜檢測和分析,以及掃描電子顯微鏡（SEM）和接觸角成像（CAI）等成像功能。LAM RESEARCH Vector Express旨在滿足科研和工業制造的嚴格流程需求。資產經ISO 9001和ISO 14001認證，符合行業標準規定的嚴格安全和質量要求。