二手 LAM RESEARCH Vector Express #9195777 待售

LAM RESEARCH Vector Express
ID: 9195777
晶圓大小: 12"
CVD Systems, 12".
LAM RESEARCH Vector Express是一款高度先進的蝕刻器/asher,其構建目的是在要求最苛刻的生產環境中提供性能和可靠性。該裝置具有專利的雙縱橫比熱成形,能夠在各種材料和應用中提供高度均勻的蝕刻。該設備先進的晶片幾何檢測和角邊的均勻保護,確保了晶片的最佳覆蓋範圍,從而實現了可靠高效的工藝。Vector Express的集成冷卻系統將溫度保持在要求的範圍內,以獲得一致的結果。這一單元的設計具有許多復雜的安全功能,包括多種氣體選項、提供富含氧氣的排氣和冷卻電路的應急保護機器,以及符合NEMA(國家電氣制造商協會)標準的全金屬外殼。LAM RESEARCH Vector Express也是UL認證,並配有CE標記。Vector Express的高級用戶界面允許簡單的流程編程和監控。這包括能夠應用多個條件設置參數,以及保存和召回存儲的蝕刻配方和過程程序。該工具包括幾種腳本語言,這些語言為腳本編寫和控制蝕刻過程提供了便利。此外,蝕刻器/asher還具有多種軟件工具,例如LAM Vector Control軟件,使用戶能夠從遠程PC或筆記本電腦監視、跟蹤和控制其蝕刻過程的各個方面。該軟件旨在提供晶圓溫度、腔室壓力和其他基本工藝參數的實時數據。LAM RESEARCH Vector Express是為專業實驗室和研究中心設計的高端、可靠、高效的蝕刻器/asher。其先進的安全應用、高度均勻的蝕刻以及用戶友好的界面,使其成為尋求全面解決其蝕刻需求的用戶的絕佳選擇。
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