二手 LAM RESEARCH Vector Extreme #9235820 待售

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9235820
晶圓大小: 12"
CVD System, 12".
LAM RESEARCH Vector Extreme是一款蝕刻器/asher,旨在提供卓越的可靠性、工作效率和精確度。Vector Extreme提供了一個集成的解決方案,以最大限度地提高性能和改進過程控制,同時減少可變性。它在蝕刻和灰化過程中提供了最高的密度和準確性,以解決最具挑戰性的應用,同時減少蝕刻時間。LAM RESEARCH Vector Extreme的高級設計具有優化的邊緣過渡、精密的熱管理和精細的瀝青塗層功能,使其能夠為任何應用提供卓越的蝕刻精度和精確度。該儀器采用開放式體系結構的多合一性能平臺進行設計,可實現高效的過程集成和所有組件的最佳性能。它利用一個創新的兩區工藝室快速反應和高保真結果。Vector Extreme利用了最新的真空/氣體接口技術,這些技術旨在減少腔室電荷並最大限度地減少多余的顆粒。它還配備了可變光束技術,可以快速、精確地觀察蝕刻過程。它具有高頻電源,可提高精度和可重復性,並具有先進的光束控制技術,可在蝕刻/灰度背景之間快速切換。LAM RESEARCH Vector Extreme設計了一個高級軟件包,用於控制和過程優化。它能夠進行可編程的自動蝕刻過程,同時保持嚴格的控制參數,以確保準確的輸出。該儀器還配備了強大的數據采集系統,允許用戶隨著時間的推移跟蹤蝕刻和灰化質量。Vector Extreme采用模塊化平臺設計,提供多種配置。它旨在適應各種應用和全面的系統自動化。它是大型吞吐量應用程序和測試各種蝕刻和灰化效果的理想選擇。它也可用於研究應用,包括新膜材料和工藝的表征。LAM RESEARCH Vector Extreme是一款可靠、用途廣泛的蝕刻器/asher,可為任何蝕刻或灰化應用提供卓越的性能和工藝精度。
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