二手 LAM RESEARCH Vector Extreme #9315263 待售

LAM RESEARCH Vector Extreme是一款高端蝕刻器/asher。它能夠在先進的基板如矽片、復合半導體材料和光學介質上暴露出密集的特征。其先進的感應耦合等離子體源和最先進的設計提供了高通量和卓越的蝕刻均勻性，具有最高的工藝重復性和準確性標準。這種蝕刻器配備了廣泛的工藝氣體，包括氧氣（O2）、氯氣（Cl2）、三氯化硼（BC1）、六氟化硫（SF6）和溴化氫（HBr）。Vector Extreme氣體輸送設備的精確度允許精確控制最佳氣體成分以獲得最佳蝕刻質量。LAM RESEARCH Vector Extreme是一款模塊化蝕刻器，可以方便地升級工藝模塊，如負載鎖升級以容納更高更大的底物，電子回旋共振（ECR）升級以延長蝕刻時間，以及高級光學端點檢測（OPD）系統升級以在蝕刻過程中進行實時端點檢測。Vector Extreme通過其集成的degas和清潔工具實現了先進的基板清洗和預處理,並提供了對蝕刻工藝參數的高精度控制,以優化工藝結果。LAM RESEARCH Vector Extreme配備了空間濾波器單元，通過分離等離子體中的傳入電子，並從等離子體內的反應性自由基中濾出粒子來最大限度地減少帶電粒子汙染。其先進的氣體淋浴頭機確保等離子體片均勻分布在基板表面，導致蝕刻劑均勻暴露在基板上。Vector Extreme兼容各種尺寸的晶片，包括300 mm和200 mm。LAM RESEARCH Vector Extreme還擁有高性能的計算機和圖形用戶界面,用於監視、存儲、訪問和跟蹤蝕刻食譜。它監視和收集溫度、時間、射頻功率、等離子體密度等數據，以優化蝕刻過程，避免潛在異常。Vector Extreme是一款功能強大的蝕刻器,非常適合超淺或深蝕刻,以及高縱橫比應用。非常適合生產、研發、先進的研究應用。