二手 LAM RESEARCH Vector Extreme #9315265 待售

LAM RESEARCH Vector Extreme是一個為滿足半導體制造業需求而設計的蝕刻系統。這種蝕刻工具具有高度的可配置性，為各種材料提供精確的沈積。它采用組合蝕刻、沈積和氮等離子體技術來提供最佳產量和提高蝕刻質量。它采用了先進的等離子體源技術的最新模型，提供了更高的精度，節省了成本和出色的蝕刻均勻性。此外,它還提供靈活、直觀的用戶界面,便於設置和操作。Vector Extreme設計了一個雙平面蝕刻源，為每個蝕刻室提供了自己獨立的蝕刻源。這樣可以確保在一系列具有卓越重復性和均勻性的材料中獲得最高的蝕刻精度。它還配備了補充蝕刻工藝的低功率磁控管源。這有助於在保持最佳蝕刻過程的同時最大限度地減少功耗。該工具還包含一個獨特的速度控制模塊，允許根據特定的工藝要求定制蝕刻和沈積參數。LAM RESEARCH Vector Extreme使用蝕刻和沈積的組合來實現所需的蝕刻輪廓。這是通過獨特的動態真空蝕刻序列（DVES）技術實現的，該技術調整蝕刻速率和沈積剖面以獲得最佳產量、穩定性和可重復性。它還依賴氮等離子體AZE（NPAZE）工藝來提供無與倫比的靈活性和對氮化物去除過程的控制。該系統還提供先進的噴嘴補償技術，使蝕刻更加精確和可重復。這可以通過先進的噴嘴控制來補充蝕刻源，從而實現更好的重復性和提高產量。這也允許更精確和精確的蝕刻速率。Vector Extreme還提供了與其他工具模塊的集成,有助於降低成本和改進流程優化。它可以與ExpellerTM Technology一起使用,它允許實時驅動蝕刻過程。這有助於縮短生產時間並提高機器利用率,從而實現更快、更準確的過程。該系統具有廣泛的功能和優勢,非常適合各種過程和產品應用程序。它具有高度可配置性,並提供精確蝕刻功能,使用戶能夠在資源最少的情況下獲得最佳的產量和性能。LAM RESEARCH Vector Extreme憑借其先進的蝕刻和沈積技術，能夠滿足最苛刻的精密蝕刻要求。