二手 LAM RESEARCH Vector Frame #293667429 待售

LAM RESEARCH Vector Frame是一種先進的蝕刻器/灰化器，用於蝕刻和開發各種基材。這臺機器具有高通量、可靠的設計，可以容納各種基板。它在蝕刻和開發方面都配備了最先進的技術。Vector Frame采用雙束蒸發電子槍，能夠在不影響分辨率的情況下高速蝕刻基板。蝕刻過程由多室電動級監控，該級允許精確的光束轉向，以便在整個晶圓上進行均勻處理。基板采用四柱機械系統夾緊在框架內，該系統允許高速裝卸。LAM RESEARCH Vector Frame還有一個用於薄基板軟烘烤的射頻模塊和一個帶有氦氣泄漏的負載鎖定系統，允許晶圓在惰性氣氛中處理。晶圓加工也可以鏈接到氦氣洗滌器，以去除系統中的任何汙染物。Vector Frame比傳統系統有幾個優點。它消除了真空烘烤工藝的需要，節省了時間和成本。另外，它可以加工直徑從2「到4」的基板，精度為4微米。該機每小時最多可處理20個晶圓，操作極為方便。LAM RESEARCH Vector Frame是一款功能強大、可靠的蝕刻器/asher,功能廣泛。它是各種基材的高精度蝕刻和加工的理想選擇。這臺機器具有極好的精確度和結果以及精確和可重復性。憑借其先進的功能，Vector Frame是各種蝕刻和開發應用的絕佳選擇。