二手 LAM RESEARCH Versys Kiyo #9223498 待售

LAM RESEARCH Versys Kiyo是一款提供卓越切割精度的蝕刻器/asher。它是一種高性能的蝕刻器/灰化器，具有出色的生產率和可靠的耐用性，在半導體工業中常用。Versys Kiyo利用獨特的雙端盤式技術，能夠有效蝕刻和粉刷各種材料，精度和精確度。LAM RESEARCH Versys Kiyo以三區離子源為特色，其中兩個電極之間形成不對稱電弧，產生聚焦的離子束。這種聚焦光束可以精確蝕刻和粉刷小特征。Versys Kiyo還包括廣泛的蝕刻和灰化氣體，如氟碳、氧氣、氯氣、氮氣和SF6。高壓氣源確保每種氣體在到達基板之前達到其最佳壓力，從而導致材料的均勻蝕刻和灰化。LAM RESEARCH Versys Kiyo結合了高精度、卓越的生產力和可靠的耐用性。蝕刻和灰化過程極其精確，氣體流動受到調節，即使在小特征範圍內也能確保一致的結果。Versys Kiyo支持批量或串聯過程以及多腔室操作,以實現最高的生產效率。直觀的軟件和人性化的操作使LAM RESEARCH Versys Kiyo簡單易用，供操作員使用。此外，Versys Kiyo還配備了超溫過流防護、自動系統關閉、增加安全性的鎖定鑰匙等先進安全功能。LAM RESEARCH Versys Kiyo提供高度的重復性和均勻性,以確保材料的一致蝕刻和灰化。Versys Kiyo是在廣泛的電介質、聚合物和半導體中蝕刻和灰化的絕佳選擇。