二手 LEYBOLD HERAEUS 301 #293651893 待售
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LEYBOLD HERAEUS 301是一種蝕刻器或asher，用於微型和納米技術設備的光刻。它由短波紅外石英燈、高速掃描檢流計和PLC（可編程邏輯控制器）組成。石英燈發出紅外光，由檢流計控制的振動鏡偏轉。然後將偏轉光聚焦在要蝕刻或粉刷元素的基板上。301是用於集成電路生產的高度精確的蝕刻器/asher。它具有±. 01微米的精度，符合半導體器件制造的最高標準。該裝置還非常耐用，並配有氣刀，可確保所有元素在蝕刻或灰化過程中保持清潔。LEYBOLD HERAEUS 301的工作溫度範圍從125°到400°C，可調節電壓範圍從10到35伏。該裝置還具有可調深度範圍和0.1至0.9微米的可調寬度範圍。301有多種模式可以根據所需的過程選擇。例如，蝕刻模式用於半導體器件生產，而灰化模式用於光刻和蝕刻工藝。掃描模式也可以設置為快速或緩慢操作,也可以在薄基板上使用。LEYBOLD HERAEUS 301由觸摸屏界面控制，為用戶提供各種設置選項，如亞微米控制、UV燈控制、PLC控制和系統監控。該設備還有一臺板載計算機，便於數據記錄，允許對參數進行自動和手動控制。總而言之，301是一種先進的蝕刻器/asher，可用於各種光刻工藝。其精度、耐用性、溫度範圍、電壓範圍和可調深度，使其具有很高的可靠性和準確性。它的板載計算機和界面使得各種基材和工藝易於使用和定制。
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