二手 LFE 104 #9008475 待售

LFE 104是一種為半導體加工而設計的蝕刻器/asher。這臺機器能夠從包括矽片在內的各種基板上蝕刻薄薄的保形材料層。104利用高功率微波發電機進行精確的深度控制以及各種工藝氣體，以幫助創造所需的表面光潔度。該設備還包括用於蝕刻的脈沖等離子體源（PPS）和其他表面處理過程，如鈍化和回流。LFE 104設有一個大腔室，允許蝕刻高達8'的大直徑晶片。該室放置在凸起的CE瓷磚制成的四面墻之間，以幫助提高蝕刻室的壽命，同時減少交叉汙染。此外,該機器還具有許多安全功能,如化學和危險材料密封、溫度監測和安全鎖定。104具有多區工藝室和自適應熱分配系統以提高工藝穩定性,以及高速氣體和化學進料單元以提高響應時間。該機器還提供XY運動和高分辨率成像的精密Z軸掃描,用於手動和自動化過程。隨附觸摸屏操作界面，操作方便。LFE 104能夠蝕刻或灰化到標記層,如金屬和多晶矽,並實現精確的表面飾面和特征密度。蝕刻處理設置可以針對各種參數進行優化,如蝕刻速率、蝕刻選擇性、均勻性等,同時提供可靠的基板蝕刻輪廓。此工具非常適合高級處理,因為它可以實現高精度和可重復性。