二手 LFE 115 #9186239 待售
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ID: 9186239
Plasma planar / rie etcher
10" x 20" deep quartz barrel
1 MFC gas control
ADVANCED ENERGY RFX 600 solid state RF generator
Fomblin prepped direct drive vacuum pump
Fomblin oil not included.
LFE 115是專為印刷電路板(PCB)制造業中的應用而設計的高性能蝕刻器/asher。它采用高效的蝕刻工藝,能夠以最短的時間和精力蝕刻銅軌和銅軌。設備配有風冷等離子體儲存室/蝕刻室,可手動或通過機械臂用板子裝卸。它具有對蝕刻參數的精確控制機制,確保在最短的蝕刻時間內進行幹凈、精確的蝕刻。該系統在真空環境中以受控大氣壓運行,創造了精確的蝕刻過程,使氧化和其他反應的量降至最低。115所使用的PECVD(等離子體增強化學氣相沈積)技術允許同時蝕刻銅板兩側,減少加工時間,提高產量。該單元還可用於通過多層板上的孔進行拆卸。LFE 115允許用戶自定義工作參數以說明正在生產的電路板的類型。該機器采用先進的編程套件設計,可以調整蝕刻速率、溫度和下列可選蝕刻種類的濃度:硝酸、鹽酸、硫酸、過氧化氫和氯化鐵。此外,該工具還設有帶有模板用戶界面的內部計算機控制面板,允許用戶輕松調整操作參數並監控進度。115的最大處理速度為每小時120塊板,每塊板最多可容納四層,最大蝕刻深度0.3mm。該資產高度可靠,需要最少的維護,可隨時處理多達200個蝕刻配方。此外,該模型還設計了一種安全機構,可以感知是否存在空的蝕刻,並在發生任何錯誤時自動關閉設備。這樣可以確保系統在安全的效率和性能參數內運行。
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