二手 LFE 302-4IR #77365 待售

LFE 302-4IR
ID: 77365
晶圓大小: 4"
Plasma stripper, dual 4" quartz chamber, 300 watt.
LFE 302-4IR是由LFE Technologies開發的全自動蝕刻器/灰化器,設計用於高級金屬蝕刻/灰化應用。此設備的高級功能提供了最佳的蝕刻/灰化性能和卓越的吞吐量。302-4IR采用聚焦電離氣體光束(IG)和金屬面罩的組合,具有非常精細的蝕刻/灰化功能,可實現薄而精確的蝕刻/灰化。High Frequency (HF) Generator的設計是產生高功率輸出,讓IG被精確聚焦,金屬掩模被精確蝕刻或灰化。LFE 302-4IR的高功率IG功能通過提供一致的結果和減少蝕刻/灰化過程中浪費的物料量來改進蝕刻/灰化過程。超高分辨率蝕刻asher能夠蝕刻/灰微元件,如膜,鏡片和脊柱,提供了比其他標準asher更高的精度和精確度。該裝置配有四室系統,可以在蝕刻/灰化後方便裝卸裝置。蝕刻/灰化室還配備了氮氣凈化裝置,可以清除蝕刻/灰化過程後可能留下的任何殘留汙染物。該設備配備了直觀的圖形用戶界面(GUI),並標配了鍵盤、鼠標和鑰匙卡閱讀器。集成的以太網連接便於遠程使用,允許在必要時及時高效地進行現場維修。用戶友好的GUI還允許易於控制和通信的asher進行精確、精確的蝕刻。302-4IR設計可提供精確的蝕刻/灰度處理,並具有最佳的效果和卓越的吞吐量。精確的高功率IG和高頻發電機、具有汙染物清除功能的四室系統和具有集成以太網連接的用戶友好圖形用戶界面,提供了全方位的高級蝕刻器/asher。
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