二手 LFE 501 #83003 待售

LFE 501
ID: 83003
Plasma barrel etcher Quartz barrel: 10" diameter x 20" deep (3) Gas inputs ENI RF Generator Fomblin prepped direct drive vacuum pump included Fomblin oil not included.
LFE 501是一種超精密蝕刻器/asher,能夠執行最精確和詳細的蝕刻和灰化過程。它是要求在半導體、生物、納米技術領域應用的完美機器。501采用高規格光學系統,能夠在至少20 µm分辨率的表面上產生精細、復雜的圖案。通過超平滑運動控制,即使在較長的過程中也能確保最大精度。集成氣體室減少過程汙染,而內置洗滌器有助於減少空氣汙染。采用橫向速度控制系統,LFE 501可隨時保持快速、精確的運動,達到完美的效果。腔室設計保證了高通量,允許處理薄膜和MEMS等薄材料。蝕刻和灰化過程可以組合到一個單元中,用於多步驟應用程序,如陣列和灰化。501具有三維振動進給機制,可以調整以容納不同的物體,使其能夠處理多種材料。由於高精度的直線電動機,可以精確定位和控制運動。處理器單元采用高速微處理器,內嵌專門為LFE 501設計的軟件,允許用戶定義蝕刻和灰化協議。該系統還包括觸摸屏顯示屏,允許與設備進行方便的交互。501是一款功能強大且用途廣泛的蝕刻器/asher,性能令人印象深刻。其緊湊的設計和靈活的編程使得它成為需要高精度和最大速度的應用的絕佳選擇。它可以用於多種工業和研究應用,使其成為真正的多用途工具。
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