二手 LFE APE-110 #293631690 待售

LFE APE-110是一種動態蝕刻器/粉碎器，旨在蝕刻/粉刷各種基材，最高加工溫度為1100 °C。它提供了一個用戶友好的界面,並且與直徑不超過6英寸的散裝材料或晶片兼容。APE-110設有11區鎖載系統，能快速有效地裝載和卸載用於加工的基板，以及用於精確溫度控制的室溫監測系統。分辨率為0.5µm的高精度石英z級提供高分辨率蝕刻和灰化。可實現的工藝成果包括亞微米二氧化矽蝕刻和可比氧化物蝕刻，以及高質量的矽蝕刻和灰化。LFE APE-110專有的3D物理蝕刻功能使用戶能夠在難以蝕刻的基板上蝕刻無殘留物的三維特征,如溝槽和圖案。此外,APE-110還具有介電室和不銹鋼室,可最大程度地減少蝕刻/灰化過程中可能出現的雜質汙染。LFE APE-110由強大的編程界面提供支持,使用戶能夠「撥入」他們的流程參數並創建復雜的配方以確保可重復和一致的結果。APE-110還有一個集成的射頻源，它為更具選擇性的蝕刻/灰燼操作提供了一個交替的電源。總體而言，LFE APE-110提供各種基板的高質量蝕刻和灰化，加上直觀的用戶界面和強大的過程控制工具。這款蝕刻器/asher可以讓用戶實現亞微米精度，可靠地快速、準確地產生高質量的蝕刻和ashing結果。