二手 LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 #383 待售

LFE PFS-PDE-PDS 501&504蝕刻器/灰燼是當今半導體工業中使用的兩種最先進的等離子體蝕刻系統。PFS-PDE-PDS 501和504這兩個系統是一種進料機,它包含用於制造復雜半導體器件的等離子體工藝,具有卓越的精度和可控性。PFS-PDE-PDS 501是一種功能齊全的蝕刻設備,具有多個集成階段和可定制的塗抹器,可用於物理和化學蝕刻任務。該系統采用提供20種不同的工藝功能組合的高精度端部效應器設計，能夠處理包括矽、鉬和氧化銨-錫-氧化物在內的材料。它還具有集成的多軸機器人手臂，以提供對過程的精確控制。PFS-PDE-PDS 504是一個更復雜的單元，用於圖樣化表面蝕刻和沈積過程。該機配備了高精度運動控制技術，可配置多種工藝，如深反應性離子蝕刻（DRIE）、納米壓印光刻（NIL）、離子束蝕刻。它還具有精確的端部效應器機械手，用於精確的物料去除，以及對基板溫度和壓力的精確控制。除了LFE PFS-PDE-PDS 501和504系統外,LFE還提供了一系列其他的asher和蝕刻器型號,以及各種附件和消耗品,幫助用戶定制其工具以實現最佳的生產效率和性能。公司的所有產品都是為了滿足客戶應用程序的嚴格要求而設計的，同時公司還提供全面的技術支持和客戶服務。總體而言,PFS-PDE-PDS 501和504蝕刻器/分類器是高度先進的系統,可為用戶提供廣泛的功能和功能,以滿足其應用程序的需要。它們具有精確的運動控制和可定制的應用程序,非常適合各種制造任務,為用戶的蝕刻和沈積作業提供了出色的準確性和可重復性。