二手 LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 #83002 待售

LFE PFS-PDE-PDS 501&504是由高級高溫加工工具供應商Lam Systems Ltd設計的一種蝕刻和灰化器。這種幹蝕刻機主要用於從基板上去除各種薄層材料，並用於在基板上沈積薄層材料。PFS-PDE-PDS 501和504利用不同氣體的多氣體混合物，通過若幹入口輸送到工作室內。一種多氣體噴射器用於精確控制氣體混合物。內部文丘裏允許創建適當的氣流模式，以確保均勻蝕刻和灰化。這個設備還有兩個獨立的電動真空室，一個上腔和一個下腔，與一個專門的閥門相連。這個閥門可以精確控制上腔和下腔.上腔主要用於基底沈積，下腔主要用於基底蝕刻。該系統旨在提供較高的蝕刻和沈積速率以及對工藝的精確控制。它是完全可編程與計算機控制單元。這臺機器允許自動控制設備的速度、壓力和溫度。它還會在過程變得太慢或太快時提供警報通知。LFE PFS-PDE-PDS 501&504是一種可靠、用途廣泛的蝕刻器和灰化器,在去除基板上的薄層材料和將薄層材料沈積在基板上方面具有優異的性能。適用於廣泛的應用，包括半導體晶圓蝕刻、MEMS器件制造、有機光伏等離子蝕刻。