二手 MARCH AP 1000 #9114384 待售

MARCH AP 1000是一種蝕刻器/asher設備，非常適合廣泛的基於等離子體的過程，如濺射和蝕刻。該系統能夠處理各種各樣的基板，包括矽和復合半導體、玻璃、金屬、陶瓷和有機材料。該單元配備了先進的電源，提供直流和脈沖電源操作，以及一個多口袋的非磁性進程室，允許多個進程同時運行。MARCH AP 1000還具有溫度控制環境,可在整個工藝室實現精確的溫度調節和均勻性。AP-1000設計具有先進的工藝室，確保最大程度的均勻性和性能。它具有80 rpm的旋轉速率，能夠設置多達8個進程參數，允許用戶執行各種進程，如濺射、蝕刻或兩者的任意組合。該機器還能夠產生高達3.5CFM的氣流，並具有處理直徑達8英寸的晶片的能力。此外，它還配備了真空計、報警工具和安全資產，在可能出現問題時提醒操作員。AP 1000還包括多種高級控制和監控功能。例如,該模型包括一個自動過程控制（APC）設備,使用戶能夠快速輕松地設置任務。對於進一步的過程控制和監控，系統還有一個流量和壓力表來控制氣流，一個內部真空控制單元，手動壓力控制，以及過載保護。AP 1000是用於蝕刻、濺射等過程的理想機器。它能夠處理各種各樣的基板，包括矽、玻璃、金屬和有機材料。此外，該工具還配備了多種安全控制功能，以確保操作員擁有最高程度的安全和過程控制。最後，它的多功能設計以及先進的控制和監控功能為用戶提供了基於等離子體的過程的最佳解決方案。