二手 MARCH AP 1000 #9130033 待售
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ID: 9130033
優質的: 2006
Plasma cleaning system
ENI ACG-6B-07 Power supply, 1.6 kVA, 600 W, 13.56 MHz
EDWARDS iQDP Dry vacuum pump
(2) PORTER Mass flow controllers
Power requirements: 208-230 V, 3-Phase, 23 A, 50/60 Hz
2006 vintage.
MARCH AP 1000是一款臺式批量蝕刻器/asher,設計用於實驗室、微電子和生產領域。這種蝕刻器利用強大的離子輔助沈積物,在各種材料上實現極其均勻、清潔的表面。它能夠蝕刻金屬、陶瓷和半導體,具有工藝均勻性和可重復性。MARCH AP 1000可以以0.1至10 μ m/min的速率在單層中蝕刻1至350 μ m的材料,具體取決於蝕刻參數。蝕刻器使用兩個獨立的電源,對反應性離子和反應性氣體進行控制和精確的組合。離子源提供所需的蝕刻選擇性,並導致低應力蝕刻過程,消除後蝕刻損傷。蝕刻器還有一個氣體輸送系統,允許精確的氣體控制進行精確的蝕刻和對蝕刻過程的精確控制。AP-1000配備數位控制,提供卓越的工藝和產品重復性、端點識別、± 5%的精確氣壓控制,以及顯示蝕刻速率和其他蝕刻參數的數位顯示。數字電路還允許用戶控制和設置高達200 °C的蝕刻溫度,從而可以精確控制溫度控制的蝕刻過程。這種多功能蝕刻器可以蝕刻單層或多層結構,並在橫向和垂直方向上蝕刻。蝕刻面積可達193mm x 193mm,可用於蝕刻小零件和大面板。它還包括一個真空系統,它允許廣泛的應用,以及深蝕刻深度。AP 1000是一種用途廣泛的蝕刻器/asher,專為各種應用而設計,從工業實驗室和SMT (Surface Mount Technology)裝配到高科技生產和裝配。其精確和可重復的過程,加上易於使用的數字控制,使其成為需要精確蝕刻的應用程序的理想選擇。
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