二手 MARCH AP 1000 #9172903 待售

MARCH AP 1000是為專業半導體制造市場而設計的高品質蝕刻和asher。它是一個完全自動化和可編程的平臺，配備了廣泛的高級功能，以確保一致和高質量的處理。蝕刻器配備了先進的氣相蝕刻技術，提供了高質量的蝕刻速率。該平臺還配備了自動調諧器、安全設備和獲得專利的氣流監測技術。系統的主要功能是晶圓的蝕刻和灰化。晶片放置在加工室中，並暴露於輝光放電等離子體、低壓氧氣和其他加工氣體的組合中，從而在基板表面實現所需的蝕刻圖案。機器還設有一個粒子密封裝置，以保護機器免受有害粒子的傷害。該蝕刻器具有先進的射頻發生器,可精確控制蝕刻和灰化過程。發電機能夠產生可重復的高頻信號，頻率範圍從1MHz到120MHz。它還具有從5V到1000V的電壓範圍,可以設置為恒定輸出,也可以向上或向下傾斜以達到特定蝕刻材料的適當工作水平。MARCH AP 1000的安全工具是一個重要的特性，特別是對於具有危險過程的應用。它具有互鎖資產以防止未經授權的訪問,以及E-Stop,如果檢測到不安全的情況,它會自動關閉整個進程。機器還有一個狀態監視模型，當某個過程完成時，它會提醒設備操作員。AP-1000是一種可靠的蝕刻器和灰化器，適合生產各種半導體器件和組件。它具有用戶友好的界面和多層次的自動化，使其能夠用於大型批量生產設施。它也可以用於研究和開發，因為它具有高度的可配置性，並且可以很容易地適應新的和具有挑戰性的應用。AP 1000是一種功能強大、用途廣泛且可靠的半導體制造環境設備。