二手 MARCH AP 1000 #9248120 待售
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MARCH AP 1000是一個高性能蝕刻/灰燼工場,適合廣泛的工業和研究應用。MARCH AP 1000是一個模塊化系統,具有開放式框架設計,可輕松安裝和擴展附加功能。AP-1000的核心是高分辨率模式發生器,用於精確控制蝕刻和灰化過程的參數。這允許用戶創建高細節的錯綜復雜的模式,同時仍然具有良好的材料量的可控性去除。發電機采用先進的Opto-Coupling方法建造,可實現精確的電流控制和低功耗。在蝕刻方面,MARCH AP-1000采用了超纖細的鍍鎳蝕刻頭,該蝕刻頭的設計具有很高的可重復性、最小化的汙染和均勻的蝕刻電流分布。這個頭有一個專門的加熱器,可以讓用戶精確調整蝕刻的溫度。蝕刻頭可調節,允許垂直和水平運動。AP 1000還具有帶集成真空泵的Ashing腔室,可容納一系列的Ashing容器。容器被加熱到高溫,允許材料的高效粉刷。真空泵效率高,汙染低,噪聲性能低。AP 1000還可以與一系列附加功能集成,例如用於監視蝕刻進度的流量監視器和用於精確控制工藝溫度的溫度控制器。它還可以與計算機控制的自動化系統集成,允許同時控制多個蝕刻和灰化過程。總體而言,MARCH AP 1000是一個可靠且用途廣泛的蝕刻/灰分車間,允許進行一系列復雜的蝕刻和灰分工藝。它結合了高分辨率模式發電機、先進的鍍鎳蝕刻頭和帶真空泵的集成ashing腔室,為用戶提供了一個高度可靠和高效的系統。
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