二手 MARCH AP 1000 #9267760 待售

MARCH AP 1000是為半導體臺式加工而設計的蝕刻器/asher。它是一個可靠、低成本的小型項目解決方案,允許單個用戶快速、準確地繪制圖樣並精確地移除材料。MARCH AP 1000是使用射頻發生器和機械驅動系統將要蝕刻的零件轉移到等離子體或IIR清潔室安裝的壓板上的一種基準蝕刻器/墊片。陰極電弧離子源，加上集成工藝監測器，提供了高達1000 MHz速度的有效蝕刻解決方案。蝕刻和灰化過程通過易於使用的控制面板進行控制,該面板允許快速設置和參數更改。綜合氣體歧管設置允許處理各種氣體，例如SF6和CF4，而使用4象限快門系統則可以同時處理多達五個部件。這樣可以進一步提高蝕刻工藝的速度。AP-1000包括許多高級功能,例如樣品預處理適應選項、冷卻鼓風機、過程監控、故障消除和易於維護。該裝置包括一個電源監視器，在壓力和溫度控制期間提供準確性，以及電壓監測。此外,500毫米（20英寸）的開口還可以方便地訪問樣品,從而以最小的中斷處理樣品。總體而言,MARCH AP-1000是各種半導體工藝的理想蝕刻器/灰化器。它是一個可靠、低成本的小型項目解決方案,允許單個用戶快速、準確地繪制圖樣並精確地移除材料。該系統易於使用,其自動化功能可實現快速、高效的生產運行。