二手 MARCH AP 1000 #9311918 待售

MARCH AP 1000是由MARCH Instruments制造的asher或蝕刻器。它是一種獨立的、用於蝕刻基板的臺式頂部設備，通常是III組和IV組半導體，精度和精確度都很高。它配備了一個單件石英腔室，以及一個可編程邏輯控制（PLC），可以對溫度、壓力、流量等方面進行精確控制。控制系統是高度可定制和可編程的,允許復雜的蝕刻過程.該單元采用電子束源，能夠進行高度的過程控制，並可用於各種專門的蝕刻過程。MARCH AP 1000具有處理1至6英寸厚基板的廣泛基板的能力，廣泛應用於半導體工業的各種蝕刻工藝，如深反應性離子蝕刻（DRIE）、離子銑削和等離子體蝕刻，以及用於制造電光產品。AP-1000旨在提供可靠和可重復的蝕刻工藝，使其成為半導體生產工藝中的熱門選擇。MARCH AP-1000可以配備多種工藝氣體，包括​​氙氣、氧氣、氙氣和氮氣。還可以使用可選的質量流控制器來監測和調整流量和壓力。此外,還提供了一系列存儲庫選項,具體取決於流程。AP 1000憑借其自動卡帶-卡帶基板處理機和獲得專利的自動沖洗工具，已被證明是半導體行業中可靠的主力。