二手 MARCH AP 1000 #9409427 待售

MARCH AP 1000 Asher是一種自動化晶片蝕刻器/asher,其平臺配備了兩個獨立的氣體面板和四個溫度區域。它用於根據用戶定義的參數處理尺寸不超過6英寸的晶片。設備的氣體面板可以使用多達20種不同的氣體，每個氣體面板都采用獨立控制的觀察窗。這允許實時監視蝕刻過程。MARCH AP 1000設計具有最先進的掃描能力,並配備了先進的視覺系統,以確保蝕刻過程中的準確性。這個單元使用了與光學成像機同步的聚焦電子束，使其能夠精確瞄準要蝕刻的材料。集成的晶圓運動工具通過允許晶圓在蝕刻機內移動以均勻分布蝕刻過程來確保速度和精度。這四個溫度區使蝕刻器能夠更好地控制熱過程，每個獨立的區域能夠在0°C到400°C的範圍內加熱和冷卻。這使AP-1000能夠對不同的晶片施加不同的溫度。此外,AP 1000還包括一個自動泛濫/清除資產,以提供清潔的工作環境。MARCH AP-1000是自動化和精確蝕刻操作必不可少的工具。該模型提供了可調氣體壓力和溫度、獨立區域溫度控制以及高效掃描和成像功能等優點和特點的集合。這種設備使用戶能夠徹底有效地控制蝕刻過程，確保生產具有預定模式的晶片的精度和可重復性。