二手 MARCH CS 1701 #9124399 待售

ID: 9124399
晶圓大小: 8"
RIE system, 8" Clam shell Manual load MFCs currently set up for CF4, Ar, CHF3, O3 with N2 purge Advanced energy RFX-600 600 w Rf 13.56 Mhz power with auto-tuning Power supply: 110 V, 50/60 Hz.
MARCH CS 1701是為標準半導體制造而設計的先進蝕刻器/asher。該設備采用了強大的CO2激光器,其聚焦光束寬度為8-35 μ m,能夠蝕刻到20 μ m以下的基板上。這種激光器與兩軸鍍鋅掃描系統耦合,該系統能夠掃描300 mm x 300 mm區域,最小分辨率為0.1 µm,以便在任何基板上精確蝕刻所需的圖樣。MARCH CS-1701 蝕刻器/asher還帶有一個12英寸的X-Y-Z級,設計用於平滑定位基板。蝕刻時舞臺的最大微調速度為120毫米/秒。舞臺同樣配有位於蝕刻區域上方的機械快門,以幫助屏蔽蝕刻過程中的任何微粒。CS 1701效率極高。此單元能夠在理想的激光光斑尺寸下實現高達100 µm的蝕刻深度,並具有DRG功率控制功能,從而實現一致的工作效率和卓越的蝕刻質量。由於具有高度可靠和易於使用的控制器,因此無論基板材料或激光光束電源設置如何,該計算機都可以根據客戶的說明快速調整設置。此蝕刻器/asher還可以提供卓越的模式識別,具有更高的精度。CS-1701是以每秒40 W的速度將簡單和復雜的圖樣蝕刻和灰化到基板上的一種經濟實惠的選擇。它還能夠與矽、玻璃、金屬等各種材料一起工作,使其成為半導體行業應用的理想選擇,如光刻生產、MEMS和微流體器件。
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