二手 MARCH CS 1701 #9268939 待售

MARCH CS 1701是一種全自動蝕刻器/asher,旨在支持需要高精度微加工的連接系統。其特點包括用於蝕刻和灰化工藝的工藝範圍從0.5微米到10微米不等，同時其精度和可重復性確保了材料的最大質量。該設備可用於制造半導體器件、MEMS、生物芯片、印刷電路板和顯示面板等應用。Etcher/Asher采用模塊化設計,可提高工作效率和靈活性。它能夠支持兩種工藝模式：批處理和單晶片。批處理是在必須處理大量工件的情況下使用的，而單晶片處理對於小批量或高精度加工則具有很大的優勢。Etcher/Asher可以支持多種工藝氣體，包括氯、氧、六氟化硫、氮、氦和氫。它還支持包括鋁、銅、矽、砷化的不同基材材料。對過程條件的精確控制，包括壓力、溫度和濃度，允許優化過程參數以獲得最佳結果。除了蝕刻和灰化過程外，系統還具有實時監控功能，以改進過程監控和數據收集。它可以測量和傳遞每個腔室的壓力、溫度和流量，以及蝕刻罐中的電解質水平和電流。這些還可以通過觸摸屏界面顯示，用戶可以在其中訪問額外的信息，如每個腔室的總處理時間、經過時間以及瞬時壓力、溫度和流量。該單元還配備了一系列安全功能，以確保過程的安全運行。其中包括壓力傳感器和每個腔室中的互鎖，以及帶有警報通知的溫度和流量傳感器。房間的門也可以遠程進入，以確保所有人員在打開房間門時都離開該區域。此外,泄漏檢測技術還監視密封室的密封件,以保護人員和產品免受危險泄漏。該機可以集成到廣泛的自動化系統中，以確保過程控制的整體效率。這樣可以提供更大的靈活性和簡化整個過程的能力。該工具還具有用於精確運動和精確位置控制的高性能運動控制能力。它易於設置和操作,可最大程度地減少停機時間並提高效率。