二手 MARCH FlexTRAK-SH #293629358 待售

MARCH FlexTRAK-SH是MARCH, Inc.生產的功能齊全、低成本的蝕刻器/asher設備。該系統非常適合快速原型設計、快速設備制造和研發項目。它具有360度、多晶片裝卸能力，具有EST（簡易自旋轉移）真空卡盤，保證了晶片的精確和安全定位。該裝置是為安全可靠的操作而設計的，其特點是所有組件都被封閉在一個共同氣流（CAF）腔室中，以及一個創新的保護機器，以防止對敏感裝置結構造成任何化學損害。這一工具還提供了高效的熱通量剖面，因為所有組件都是為了優化反應化學品的路徑而設計的。直觀的用戶界面使用戶能夠控制所有資產參數，而精確的運動控制和預編程配方的完整ESP （Pattern）庫則允許快速、精確和可重復的晶片處理。FlexTRAK-SH模型也是環保的，消除了任何與操作化學加工設備有關的環境問題。這是由於完全密封、無煙的強化疏散系統和提供的安全清潔的操作。最後,為了最大程度地提高流程效率,MARCH FlexTRAK-SH單元配備了一個完全集成的集中控制器,它提供了一個統一的自動化平臺來控制所有機器參數,從而可以輕松集成到現有的特定於工具的配方庫中,並支持遠程操作和數據分析。