二手 MARCH FlexTRAK-SH #9232254 待售

MARCH FlexTRAK-SH是一款為微加工實驗室設計的蝕刻器/asher，為用戶提供了廣泛的應用。該設備具有高度的精確度，具有自動化的可編程配方控制以及標準的旋轉和晶圓軌跡。它還與MARCH 'Trak-Tool'完全集成。這使得晶圓處理和蝕刻配方的開發無需任何編程。系統維護也低，操作方便。FlexTRAK-SH具有「太陽神」腔室設計，包括兩個射頻感應耦合等離子體源。這提供了PECVD和PE-CVD工藝的蝕刻,如LPCVD、LPCVD OIS、OLED和ECR。這也讓用戶能夠達到很高的等離子體密度和均勻性，即使晶圓尺寸很小。The 'Helios' chamber also features a z-flight scan line option, for uniform intection of large wafers with large aspect ratio.MARCH FlexTRAK-SH還提供可變蝕刻速率，具有蝕刻包括氧化物、氮化物、多晶矽、金屬和金屬合金等材料的能力。它還能夠蝕刻直徑達12英寸的晶片。該單元配備了外封安全系統，以確保用戶安全，並防止化學物質泄漏。蝕刻器/asher還具有一系列檢測壓力、溫度和O2水平的過程傳感器，這些傳感器提供了對蝕刻過程的精確控制。FlexTRAK-SH是一種功能強大、用途廣泛的工具，易於操作，適用於廣泛的實驗室應用。它使用可定制的配方和軟件工具提供高精度和準確性,以確保可靠和可重復的結果。其先進的「太陽神」腔室設計進一步提高了機器的性能，確保了均勻、均勻的蝕刻率生產。蝕刻器/asher還有一系列安全措施，以確保其使用者的安全。