二手 MARCH FlexTRAK #9101089 待售

MARCH FlexTRAK是一款用途廣泛的RF asher/etcher設備,專為精度、成本效益和效率而設計。它結合了最現代蝕刻技術的最佳方面和用戶友好平臺的靈活性。該系統用途廣泛,能夠處理高級制造過程。該場由三個同心射頻環勾勒出輪廓，這些環將氣體環境分成三層，可以進行有效調整，使蝕刻過程能夠在高度精確的溫度、壓力和流動條件下發生。該設計允許將單個配方的利用率接近100%,以實現復雜的模式。該單元的核心是一個堅固、高功率的射頻模塊，能夠在400千赫茲至4兆赫茲的頻率下提供高達500瓦的功率。其精確度為兩階精確度優於同類模塊。高頻允許更快的蝕刻時間和更高的產量。FlexTRAK還有一個集成的可編程控制器，它提供了用戶和機器之間的交互界面。這允許完全控制蝕刻過程,包括過程氣體、溫度、壓力和腔室門動作。控制器可輕松配置和運行復雜的配方,並具有調試和修改流程參數的靈活性。此外,該工具還具有主動冷卻功能和強大的控制資產,可確保整個樣品的蝕刻深度均勻。這使得模型的效率很高，並且提供了對蝕刻深度和均勻性的精確控制。設備受濕度控制，以確保介電特性在整個過程中保持一致。最後,系統的設計考慮了安全性.蝕刻室保持恒定壓力，確保不能將有害物質引入機組，所有活動部件都有安全關閉裝置，確保不會因人為錯誤而損壞任何部件。總體而言,MARCH FlexTRAK是精密蝕刻項目的理想射頻灰度/蝕刻機。它結合了最新的蝕刻技術和非常精確的控制、用戶友好的軟件以及卓越的安全功能。它還具有高度的通用性,能夠輕松處理復雜的過程。