二手 MARCH FlexTRAK #9210328 待售

MARCH FlexTRAK是一種專門為最大化晶圓蝕刻和灰化過程的效率而設計的蝕刻/灰化設備。該系統是一個完全自動化的解決方案，它提供了低蝕刻加載時間、快速的過程調度和出色的配方一致性。是生產研發應用的理想之選。該裝置基於先進的壓力控制可變動力架構，提供卓越的卡盤穩定性和配方重復性。這樣可以確保一致的蝕刻和灰分輪廓,並減少產生結果的時間。機器的自動化過程調度功能還允許快速生成適合任何特定應用程序的蝕刻配置。FlexTRAK的設計非常緊湊,易於安裝,操作需要最少的培訓。該工具由兩個腔室-一個蝕刻腔室和一個灰燼腔室-連接到兩個自動機器人。這些機器人負責在腔室之間轉移晶片，並將晶片裝卸到蝕刻腔內。MARCH FlexTRAK配備了高級流程控制器。該控制器采用直觀的8.4英寸彩色觸摸屏,操作方便。盒子裏還有一個高通量的光學成像資產，可以準確地監控蝕刻和灰燼過程。FlexTRAK有一個獨特的加載模型，可以在其蝕刻室中加載多達25個晶圓。設備的負載鎖自動承載和鎖定感興趣的晶片到位精確和可重復的結果。MARCH FlexTRAK還提供了廣泛的內存和配方設置功能。這允許用戶保存所有蝕刻和灰燼配置,以便於訪問和可重復性。這些設置存儲在易於訪問的內存庫中,從而可以輕松生成所需應用程序的精確蝕刻和灰化設置。總之，FlexTRAK是一種先進的蝕刻和灰化系統，具有優異的卡盤穩定性和良好的配方一致性。它易於安裝,需要最少的培訓,並且能夠在一次運行中處理多達25個晶圓。該單元還提供了許多方便的功能,包括直觀的觸摸屏、快速處理計劃和自動配方存檔。