二手 MARCH INSTRUMENTS Plasmod #9236960 待售

MARCH INSTRUMENTS Plasmod是一個完全自動化的蝕刻器/asher,非常適合集成在您的過程中。它通過其最先進的等離子體技術提供高質量的蝕刻和灰化。整個設備被封閉在一個密封的單元內，不需要額外的安全措施。操作簡單，具備觸摸屏人性化界面方便。Plasmod用途非常廣泛,包括多種配置,可實現最佳流程操作。該蝕刻器為包括無定形和多矽在內的多種材料提供高分辨率蝕刻。這種多功能性可以為各種應用程序創建復雜的模式和結構。灰化器提供了一個快速的灰化循環，以快速去除殘留的碳和光致抗蝕劑薄膜，同時保留所有的下面的粒子。系統還包括一個流程監控單元，記錄所有流程設置和參數。收集到的數據可用於改進蝕刻或灰化過程。此外,遙控器還可以輕松集成到其他設備中。此外,MARCH INSTRUMENTS Plasmod可以連接到PC,用於數據傳輸和遠程過程監控。該工具配有用於幹燥、蝕刻、灰化工藝的內置氣體入口，並配有可互換的氣體管線，方便使用。內部加熱器確保過程中氣體的適當穩定。此外，煤氣管線還包括一個安全閥，以防止事故發生。此外，Plasmod以其專用的過濾資產設計為最大限度地減少汙染物顆粒。該模型利用內置的高質量差分泵浦設備從蝕刻室中提取汙染物和顆粒。這樣就產生了極幹凈的表面結果，微粒極少，從而實現了良好的薄膜轉移和提高產量。MARCH INSTRUMENTS Plasmod是一個非常可靠的系統,可用於多年的運行,維護要求最低。Plasmod具有易於使用的觸摸屏界面和簡單的設置，是蝕刻和灰化工藝的理想選擇。它提供了通用的設置、全面的過程監控和幹凈的結果,以促進產品產量。